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材料樣品處理
小型濺射儀
鄭科探 離子濺射儀 鍍金設(shè)備 廠家直供
產(chǎn)品簡介
                  鄭科探 離子濺射儀 鍍金設(shè)備 廠家直供KT-1650PVD是一款小型臺(tái)式濺射功率可控磁控濺射儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn),樣品高度調(diào)節(jié),及電動(dòng)擋板功能。
| 品牌 | 鄭科探 | 濺射氣體 | 根據(jù)需求氣體 | 
|---|---|---|---|
| 樣品臺(tái)尺寸 | φ50mm | 控制方式 | 觸摸屏智能控制 | 
| 樣品倉尺寸 | 50mm | 靶材尺寸 | 50mm | 
| 靶材材質(zhì) | 金 鉑 銅 銀 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池 | 
小型濺射儀
鄭科探 離子濺射儀 鍍金設(shè)備 廠家直供KT-1650PVD是一款小型臺(tái)式濺射功率可控磁控濺射儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn),樣品高度調(diào)節(jié),及電動(dòng)擋板功能。通過定時(shí)調(diào)節(jié)預(yù)濺射功率及薄膜沉積功率,可對(duì)大部分金屬進(jìn)行均勻物理沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜。



鄭科探 離子濺射儀 鍍金設(shè)備 廠家直供
控制方式  | 7寸人機(jī)界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制  | 
濺射電源  | 直流濺射電源  | 
鍍膜功能  | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序  | 
功率  | ≤1000W  | 
輸出電壓電流  | 電壓≤1000V 電流≤1A  | 
真空  | 機(jī)械泵 ≤5Pa(5分鐘) 分子泵≤5*10^-3Pa  | 
濺射真空  | ≤30Pa  | 
擋板類型  | 電控  | 
真空腔室  | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm  | 
樣品臺(tái)  | 可旋轉(zhuǎn)φ62 (可安裝φ50基底)  | 
樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速  | 8轉(zhuǎn)/分鐘  | 
樣品濺射源調(diào)節(jié)距離  | 40-105mm  | 
真空測量  | 皮拉尼真空計(jì)(已安裝 測量范圍10E5Pa 1E-1Pa)  | 
預(yù)留真空接口  | KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口  |