產品中心
Product Center
產品簡介
                  小型離子濺射儀 鄭州科探儀器 噴金儀 廠家供應通過定時調節預濺射功率及薄膜沉積功率,可對大部分金屬進行均勻物理沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜
| 品牌 | 鄭科探 | 濺射氣體 | 根據需求氣體 | 
|---|---|---|---|
| 樣品臺尺寸 | φ50mm | 控制方式 | 觸摸屏智能控制 | 
| 樣品倉尺寸 | φ160x160mm | 靶材尺寸 | 50mm | 
| 靶材材質 | 金 鉑 銅 銀 | 價格區間 | 1-5萬 | 
| 產地類別 | 國產 | 應用領域 | 化工,電子/電池 | 
小型離子濺射儀 鄭州科探儀器KT-1650PVD是一款小型臺式濺射功率可控磁控濺射儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉,樣品高度調節,及電動擋板功能。
小型離子濺射儀 鄭州科探儀器KT-1650PVD 通過定時調節預濺射功率及薄膜沉積功率,可對大部分金屬進行均勻物理沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜。




技術參數;
控制方式  | 7寸人機界面 手動 自動模式切換控制  | 
濺射電源  | 直流濺射電源  | 
鍍膜功能  | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序  | 
功率  | ≤1000W  | 
輸出電壓電流  | 電壓≤1000V 電流≤1A  | 
真空  | 機械泵 ≤5Pa(5分鐘) 分子泵≤5*10^-3Pa  | 
濺射真空  | ≤30Pa  | 
擋板類型  | 電控  | 
真空腔室  | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm  | 
樣品臺  | 可旋轉φ62 (可安裝φ50基底)  | 
樣品臺轉速  | 8轉/分鐘  | 
樣品濺射源調節距離  | 40-105mm  | 
真空測量  | 皮拉尼真空計(已安裝 測量范圍10E5Pa 1E-1Pa)  | 
預留真空接口  | KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口  |