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材料樣品處理
小型濺射儀
KT-Z1650PVD持久型小型濺射儀
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
                  持久型小型濺射儀,石英玻璃腔體,濺射距離可調(diào)節(jié),外接水冷機(jī)可持久濺射,觸摸屏控制,濺射時(shí)間工藝記憶儲(chǔ)存。
| 品牌 | 鄭科探 | 濺射氣體 | 根據(jù)需求通氣 | 
|---|---|---|---|
| 樣品臺(tái)尺寸 | 50mm | 控制方式 | 觸摸屏智能控制 | 
| 樣品倉(cāng)尺寸 | φ160x160mm | 靶材尺寸 | 50mm | 
| 靶材材質(zhì) | 金 鉑 銅 銀 等 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 
| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 | 
持久型小型濺射儀
一般的濺射法可被用于制備金屬、半導(dǎo)體、絕緣體等多材料,且具有設(shè)備簡(jiǎn)單、易于控制、鍍膜面積大和附著力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn),
磁控濺射法更是實(shí)現(xiàn)了高速、低溫、低損傷。因?yàn)槭窃诘蜌鈮合逻M(jìn)行高速濺射,必須有效地提高氣體的離化率。磁控濺射通過(guò)在靶陰極表面引入磁場(chǎng),利用磁場(chǎng)對(duì)帶電粒子的約束來(lái)提高等離子體密度以增加濺射率。
需要鍍膜的樣品
1、電子束敏感的樣品:
主要包括生物樣品,塑料樣品等。SEM中的電子束具有較高能量,在與樣品的相互作用過(guò)程中,它以熱的形式將部分能量傳遞給樣品。如果樣品是對(duì)電子束敏感的材料,那這種相互作用會(huì)破壞部分甚至整個(gè)樣品結(jié)構(gòu)。這種情況下,用一種非電子束敏感材料制備的表面鍍層就可以起到保護(hù)層的作用,防止此類(lèi)損傷;
2、非導(dǎo)電的樣品:
由于樣品不導(dǎo)電,其表  面帶有“電子陷阱",  這種表面上的電子積累  被稱(chēng)為“充電"。為了  消除荷電效應(yīng),可在樣  品表面鍍一層金屬導(dǎo)電  層,鍍層作為一個(gè)導(dǎo)電  通道,將充電電子從材  料表面轉(zhuǎn)移走,消除荷  電效應(yīng)。在掃描電鏡成  像時(shí),濺射材料增加信  噪比,從而獲得更好的成像質(zhì)量。
持久型小型濺射儀廠家供應(yīng)技術(shù)參數(shù);
控制方式  | 7寸人機(jī)界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制  | 
濺射電源  | 直流濺射電源  | 
鍍膜功能  | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序  | 
功率  | ≤1000W  | 
輸出電壓電流  | 電壓≤1000V 電流≤1A  | 
真空  | 機(jī)械泵 ≤5Pa(5分鐘) 分子泵≤5*10^-3Pa  | 
濺射真空  | ≤30Pa  | 
擋板類(lèi)型  | 電控  | 
真空腔室  | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm  | 
樣品臺(tái)  | 可旋轉(zhuǎn)φ62 (可安裝φ50基底)  | 
樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速  | 8轉(zhuǎn)/分鐘  | 
樣品濺射源調(diào)節(jié)距離  | 40-105mm  | 
真空測(cè)量  | 皮拉尼真空計(jì)(已安裝 測(cè)量范圍10E5Pa 1E-1Pa)  | 
預(yù)留真空接口  | KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口  |